FDP系列产品适用于各类形状和尺寸的工件产品的全覆盖真空镀膜。该设备为单体腔室结构，配有旋转工件架系统，可实现公转、自转和行星旋转等三级旋转，可配置各类离子源、平衡/非平衡磁控阴极、阴极电弧、偏压系统等功能部件，可用于多种功能涂层技术的研发和小批量生产。
