图形化衬底刻蚀机是应用于LED蓝宝石衬底刻蚀工艺的等离子体干法刻蚀机，配置双反应腔、托盘式、多片Tray in Tray out全自动作业。设备适用于Mini LED、Micro LED多种衬底刻蚀，覆盖PSS、NPSS、CPSS刻蚀工艺。
